金属层的选择性激光烧蚀

介绍

使用飞秒激光脉冲可以精确地去除小部分金属层而不会损坏衬底。消融的深度和几何形状可能会有所不同,因此它适用于各种应用。

选择性激光烧蚀金属层的应用:
  • 光刻掩膜生产

  • 光束成形元件

  • 光学孔径

  • 衍射光栅

  • 其他

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